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產(chǎn)品詳細(xì)
| 測量方向 | ±X ±Y +Z | |
| 重復(fù)精度（2σ） | 0.35um或小于 | |
| 方向性（XY：2D） | ±0.8um以下（帶10mm測針），±2.5um以下（帶50mm測針） | |
| 方向性（XYZ：3D） | ±1um以下（帶10mm測針），±4um以下（帶50mm測針） | |
| 測力 | XY | 0.08N(標(biāo)準(zhǔn)測力），帶10mm測針 0.1N（中等測力），帶25mm測針 |
| Z |
0.75N(標(biāo)準(zhǔn)測力） 1.9N（中等測力 |
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| 超程范圍 | XY | ±14° |
| Z |
+4.0mm(標(biāo)準(zhǔn)測力） +3.7mm（中等測力 |
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| 超程測力 | XY |
0.2-0.3N(標(biāo)準(zhǔn)測力） 0.2-0.4N(中等測力） |
| Z |
3.5N(標(biāo)準(zhǔn)測力） 7N（中等測力） |
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| 最大測針長度 |
50mm(標(biāo)準(zhǔn)測力） 60mm(中等測力） |
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| 最大測針質(zhì)量 | 8g(標(biāo)準(zhǔn)測力），3g(低測力） | |
| 測針安裝方法 | M2螺紋 | |
| 單個裝置的質(zhì)量 | 22g(測頭主體：13g，測頭模塊：9g) | |
| 耐久性 | 1.000.000次 | |
| 測座 | 必需：PH10M/PH10MQ/MIH/PH1 | |
| 適用的型號 | 手動/CNC三坐標(biāo)測量機(jī) | |
| 注 | 任何小于Ф1mm的測針應(yīng)與低測力模塊一起使用 | |
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