| 測(cè)量方向 |
±X ±Y +Z |
| 重復(fù)精度（2σ） |
0.3um以下（帶10mm測(cè)針）0.4um以下（帶50mm測(cè)針） |
| 方向性（XY：2D） |
±0.4um以下（帶10mm測(cè)針），±0.8um以下（帶50mm測(cè)針） |
| 方向性（XYZ：3D） |
±0.65um以下（帶10mm測(cè)針），±1um以下（帶50mm測(cè)針） |
| 測(cè)力 |
XY |
0.02N（標(biāo)準(zhǔn)/低測(cè)力）使用50mm測(cè)針 |
| Z |
0.07N（標(biāo)準(zhǔn)/低測(cè)力）使用50mm測(cè)針 |
| 超程范圍 |
XY |
±14° |
| Z |
+4.5mm(帶0.07N）
+3mm(帶0.15N)
|
| 超程測(cè)力 |
XY |
0.35N(標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力）
0.1N（低測(cè)力）
|
| Z |
4N(標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力）
1N（低測(cè)力）
|
| 最大測(cè)針長(zhǎng)度 |
70mm(標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力） 30mm(低測(cè)力） |
| 最大測(cè)針質(zhì)量 |
8g(標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力），3g(低測(cè)力） |
| 測(cè)針安裝方法 |
M2螺紋 |
| 單個(gè)裝置的質(zhì)量 |
22g |
| 耐久性 |
1.000.000次 |
| 測(cè)座 |
必需：PH10M/PH10MQ/MIH/PH1 |
| 適用的型號(hào) |
手動(dòng)/CNC三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) |
| 注 |
任何小于Ф1mm的測(cè)針應(yīng)與低測(cè)力模塊一起使用 |
